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一种油扩散泵用的带有节流阀的组合冷阱,包括冷阱体,上法兰和下法兰,其特征在于:所述组合冷阱还包括冷却装置和节流阀,所述下法兰安装在冷阱体的下端,上法兰安装在冷阱体的上端,所述冷却装置和节流阀由下而上依次安装在冷阱体的内部。这种组合冷阱结构紧凑、气阻小并且可以保证镀膜区域气流稳定。
一种油扩散泵用的带有节流阀的组合冷阱,包括冷阱体,上法兰和下法兰,其特征在于:所述组合冷阱还包括冷却装置和节流阀,所述下法兰安装在冷阱体的下端,上法兰安装在冷阱体的上端,所述冷却装置和节流阀由下而上依次安装在冷阱体的内部。这种组合冷阱结构紧凑、气阻小并且可以保证镀膜区域气流稳定。